提高擴散泵機組的性能質量：

　?。?）目前國內生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的全面性能也沒有考核指標。行業(yè)應對提高性能和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。

　　（2）泵在結構方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。

　　（3）增加附件。如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護?？勺詣忧袛嗪蛷臀唬?。出口壓力的監(jiān)控。

　　（4）規(guī)定油量的醉大值和醉小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。

　?。?）給出合適的前級泵的容量。

　　（6）為了節(jié)能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。

　?。?）給出各種被抽氣體的性能曲線，醉好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。

　?。?）用微機控制運行和故障診斷。

　　（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。

　?。?0）給出各種泵的返油率限定值，進一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數部件需要維修，泵內無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

　　擴散泵機組的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。