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ZYFB-3600渦輪分子泵

    此分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

    是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運動從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

ZYFB-3600渦輪分子泵

技術(shù)參數(shù)表

型號                     ZYFB-3600

進氣口法蘭            400 ISO-K

泵體烘烤溫度（℃）      <80

環(huán)境溫度（℃）             5-40

安裝方向                     垂直±5°

泵重量(kg)                   ≈100

排氣口法蘭              100 ISO-K

抽氣速率(L/S)(對空氣)            3600

壓縮比                              N2>108     H2>6X102

極限壓強(Pa)                     <2×10-6

額定轉(zhuǎn)速(rpm)                    12600

使用軸承                            進口陶瓷軸承

振動值                               ≤0.15μm

啟動時間(min)                     <10

停機時間(min)                     <20

建議采用的前級泵（L／S）    30

冷卻方式                                 水冷

冷卻水溫度（℃）                 ≤20

冷卻水流量(L/min)                  1

ZYFB系列渦輪分子泵

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